大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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特種氣體使用安全

首先,應(yīng)對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。2、經(jīng)濟(jì)性：建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗室空間，更換氣瓶時不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。管道設(shè)計應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏。③可燃?xì)怏w的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號?？扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測,防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應(yīng)與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。